Den nøjagtige overholdelse af tryk eller trykkurver i vakuumprocesser indenfor procesteknik er et vigtigt parameter for at sikre optimal effektivitet og den bedste produktkvalitet.
VACTEST giver en innovativ og omfattende portefølje af vakuummålere og controllere.
Robust konstruktion, pålidelighed og måle nøjagtighed er nøglefunktioner ved disse enheder, hvilket gør dem til det ideelle valg, til at overvåge og kontrollere vakuumprocesser.
Moderne teknologier muliggør et bredt måleområde fra 1.600 til 5 x 10-10 mbar, der dækker alle vakuumniveauer med høj præcision.
Alle sensorer overholder internationale standarder og forskrifter såsom CE og RoHS.
Med VACTEST vakuum instrumenter leverer Busch adskillige sensorteknologier til at dække alle dekader med vakuum (fig. 1). De kan grundlæggende opdeles i to hovedkategorier: direkte og indirekte trykmåling.
Det direkte måleprincip er uafhængigt af procesgassen og er baseret på det tryk, som den molekylære tryk udøver på en membran.
Denne metode anvendes hovedsageligt til grov og medium vakuum processer.
Ved et højere vakuumniveau anvendes indirekte måleprincipper baseret på procesgassens specielle egenskaber, såsom termisk ledningsevne eller ioniseringssandsynlighed.
I modsætning til den direkte målemetode afhænger disse principper af typen af procesgas. Af denne grund skal der anvendes en specifik korrektionsfaktor for hver procesgas undtagen luft eller kvælstof.
Der skal tages hensyn til et antal af faktorer, når den rigtige sensor skal vælges.
Kendskab til trykområdet, nødvendige nøjagtighed, gassammensætningen såvel som processen og de omgivende betingelser har stor betydning for optimale måleresultater.
VACTEST vakuumsensorer omfatter følgende direkte sensorteknologier til direkte trykmåling uafhængig af gastypen:
Piezoresistiv sensor
Den robuste og omkostningseffektive piezoresistive sensorteknologi måler ændringen i modstanden på en spændingsmåler, der skyldes afbøjning i membranen. Sensorens robusthed og alsidighed betyder, at det er det bedste valg til absolut trykmåling i grov vakuumområdet. Måleområdet er mellem 1.600 og 1 millibar.
Kapacitiv sensor
Kapacitive sensorer med høj nøjagtighed, ændringer i den elektriske kapacitans i en pladekondensator forårsaget af membranforskydningen.
Disse sensorer med høj præcision, er specielt designet til industrielle applikationer, der kræver høj nøjagtighed og kemisk kompatibilitet. Kapacitive sensorer kan bruges i intervallet fra 200 til 0,1 millibar.
Følgende indirekte sensorteknologier er tilgængelige til gastypeafhængig måling af indirekte tryk:
Pirani
Den robuste og pålidelige Pirani teknologi måler gassernes varmeledningsevne. Varmeoverførslen mellem en opvarmet glødetråd og dens omgivelser ændres proportionalt med trykket. Pirani sensorer er den bedste løsning til applikationer med medium vakuum.
Pirani sensorer kan bruges pålideligt i et bredt måleområde fra 1.000 til 1 x 10-4 millibar.
Kold katode
De omkostningseffektive og robuste kolde katoder (inverteret magnetron) måler plasmaets elektriske ledningsevne. Neutrale gasmolekyler ioniseres ved kollision med elektroner og fanges af katoden. Den genererede strøm er en indikation af trykket i processer ved fin og ultrafin vakuum. Kolde katoder kan anvendes i området fra 2 x 10-3 to 5 x 10-9.
I kombination med Pirani sensorer dækker de måleområder fra 1.000 til 5 x 10-9 millibar.
Varm katode
Varme katoder baseret på Bayard-Alpert princippet måler gasionisering stabilt og reproducerbart via termisk elektronemission. Ionfangerstrømmen er lineær med gastrykket. Denne teknologi udgør et af de mest nøjagtige måleprincipper for fin og ultrafin vakuum. Sammen med en Pirani sensor udvides måleområdet fra 1,000 to 5 x 10-10 millibar.
Med de forskellige VACTEST-produkter opfylder Busch alle krav til måling af tryk i et vakuumsystem eller proces med hensyn til nøjagtighed, måleområde og funktionalitet.
VACTEST analoge sensorer har en kompakt, robust og funktionel design.
Takket være deres fremragende målenøjagtighed og stabilitet er disse sendere den ideelle løsning til centraliserede overvågnings- og kontrolsystemer.
VACTEST digitale sensorer er avancerede målere med en bred vifte af muligheder som standard. Deres intelligente mikrocontroller giver optimal sensorkontrol og forskellige justeringsmuligheder, hvilket gør den til den ideelle løsning til en række applikationer. VACTEST digitale sendere fungerer med Pirani sensorteknologi, med kold katode sensorteknologi, med Pirani/kold katode eller med Pirani/varm katode kombinationer.
VACTEST mobile målere er den perfekte håndholdte løsning til kvalitetssikring af vedligeholdelsen af vakuumprocesser. Disse batteridrevne målere tilbyder mange funktioner, såsom et USB-interface til eksport og visning af data samt en datalogger og de kan endda bruges under vakuum.
Busch Vacuum Solutions tilbyder VACTEST explorer som et softwareværktøj til hurtig og effektiv visualisering, analyse og sammenligning af procesdata på en computer eller tablet.
VACTEST explorer er tilgængelig i en Lite- og Pro-version og inkluderer adskillige funktioner, for eksempel beregning af lækagehastigheder, Active Sensor Controller fjern kontrol, sammenligning af nedpumpnings kurver, konfiguration af alle digitale transmitter parametre og mange flere.
VACTEST viewer er et gratis overvågningsprogram som virker til mobile enheder med et Android styresystem via bluetooth. Det kan vise trykværdierne på op til 16 tilsluttede sensorer. Værktøjet er designet til Bluetooth-dataudveksling mellem software og sensorer og er ideel til vedligeholdelses- eller kalibreringsformål.
Visuelle og hørbare alarmer kan forudindstilles for maksimale og minimale trykværdier.
Vil du høre mere om VACTEST og deres muligheder kan du kontakte Busch her,
Du kan også skrive dig op til Buschs nyhedsbrev her eller følge dem på LinkedIn.
